近期光(guāng)刻技術和蝕刻機(jī)一直全是當今較(jiào)熱的話題討論,可以說光刻技術是芯片製造的魂,蝕刻機(jī)是芯(xīn)片製造的魄(pò),要想生產製造的處(chù)理芯(xīn)片(piàn),這兩(liǎng)個物(wù)品都務必。
這倆設(shè)備簡易(yì)的表述便是光(guāng)刻技術把原理圖投射到遮蓋有光刻技術的單晶矽片上邊,蝕刻機再把剛剛(gāng)畫了原理圖(tú)的單晶矽片上的不必要原理圖(tú)浸蝕掉,那(nà)樣看上去好(hǎo)像沒有什麽難的,可是有一個品牌形(xíng)象的形容,每一塊處理芯片上邊的電源電路構造變大(dà)成千上萬倍看來(lái)比全部北京市(shì)都繁(fán)雜,這就是這光刻技術和(hé)蝕刻的難度係數。
光刻技術的全過程就是目前製做(zuò)好的矽圓表層塗上一層光刻技術(一種能夠被光浸蝕的膠狀物化學物質),接下(xià)去(qù)根(gēn)據光源(加工工藝難度(dù)係數紫外線<深紫外線(xiàn)<極紫外線)通過掩膜照射矽圓表層(相近投射),由於光(guāng)刻技術的遮蓋(gài),照射的一部分被浸蝕(shí)掉,沒有(yǒu)陽光照射的一部分被留下,這些就是必須的電源電路構造。
蝕刻分成二種,一種是幹刻,一種是(shì)濕刻(現階段(duàn)流行),說白(bái)了(le),濕刻便是全(quán)過程(chéng)中有冰添加,將上邊曆經光刻技術(shù)的圓晶(jīng)與特殊的化學溶液反映,除掉(diào)不(bú)用的一部分,剩餘的就是(shì)電源(yuán)電路構造了,幹刻現階段都還沒完成商業服務批量生產,蝕刻機(jī)基本(běn)原理是(shì)根(gēn)據等離子技術替代化學溶液,除去不用的矽圓(yuán)一(yī)部分。