乍一看光刻(kè)技術和(hé)蝕刻機很接近,可(kě)是光刻技術和蝕刻機卻不混為一談,由(yóu)於刻蝕僅僅製造芯片其中之(zhī)一的步驟而已。而刻蝕機隻不過(guò)是眾(zhòng)多芯片(piàn)製造設備(bèi)其中之一。下邊在(zài)這裏給大(dà)家聊一(yī)下蝕刻機。
蝕(shí)刻機和光刻技術其實也就(jiù)是截然不同(tóng)的二種機器設備,不(bú)論從作用或是在結構(gòu)上而言都(dōu)是天壤之別,光刻技術是芯片製造過程裏(lǐ)為中(zhōng)心的(de)機器設(shè)備,芯片製造是通過光刻技術(shù)所決定的,而非蝕刻機。
從原理來看光刻技術和蝕刻(kè)機。
如果將製造芯片比作建(jiàn)房子,那樣光(guāng)刻技術的作用是把房子的結(jié)構標(biāo)明在地板上(shàng)。蝕刻(kè)機便是在光刻技術進行(háng)之後(hòu)才登場的機器設備(bèi),都是(shì)光刻技術進行之後尤為重要的機器設備之一。蝕刻機主要的(de)的(de)作用是依照光刻技術早已標明好的線去做基礎建設,把沒有用的地區給清理掉,隻(zhī)留光刻技術環節(jiē)中標明好一點的路線。
從在結構上看(kàn)來光刻技術(shù)和蝕刻機。
光刻技術的重要的(de)關鍵技術便是燈源和激光(guāng)光路,其燈源和激光光路的重要構(gòu)成部分有四個(gè),燈源、曝出、檢驗(yàn)、和(hé)其它高(gāo)精密機械製造構成。對比下,蝕刻機的構造構成就需要簡單一(yī)些,通常是等離子頻射源、反(fǎn)映室和真(zhēn)氣體(tǐ)路等構成。